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單項(xiàng)選擇題
()就是用功率密度很高的激光束照射半導(dǎo)體表面,使其中離子注入層在極短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到高溫,消除損傷。
A.熱退火
B.激光退火
C.連續(xù)激光退火
D.脈沖激光退火
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單項(xiàng)選擇題
目前,最廣泛使用的退火方式是()。
A.熱退火
B.激光退火
C.電子束退火
D.離子束退火
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單項(xiàng)選擇題
損傷的分布與注入離子在在靶內(nèi)的()的分布密切相關(guān)。
A.能量淀積
B.動量淀積
C.能量振蕩
D.動量振蕩
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