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單項選擇題
目前,最廣泛使用的退火方式是()。
A.熱退火
B.激光退火
C.電子束退火
D.離子束退火
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單項選擇題
損傷的分布與注入離子在在靶內(nèi)的()的分布密切相關(guān)。
A.能量淀積
B.動量淀積
C.能量振蕩
D.動量振蕩
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多項選擇題
哪種方法可以增加缺陷的積累率而降低臨界注入量:()。
A.低溫注入
B.常溫注入
C.高溫注入
D.分子注入
E.雙注入
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