多項(xiàng)選擇題

在深紫外曝光中，需要使用CA光刻膠，它的優(yōu)點(diǎn)在于（）。

A.CA光刻膠對(duì)深紫外光吸收小
B.CA光刻膠將吸收的光子能量發(fā)生化學(xué)轉(zhuǎn)化
C.CA光刻膠在顯影液中的可溶性強(qiáng)
D.有較高的光敏度
E.有較高的對(duì)比度

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