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問(wèn)答題
【論述題】在MEMS加工中，為了精確控制腐蝕深度，有哪幾種腐蝕停止技術(shù)，分別說(shuō)一下其腐蝕停止原理。
答案：
腐蝕停止目的：為了精確控制腐蝕深度.P++腐蝕停止技術(shù)（形成重?fù)诫sB層）：Si的濕法腐蝕速率在B摻雜濃度<1×10
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問(wèn)答題
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