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【論述題】從寄生電阻和電容、電遷移兩方面說明后道工藝中(Back-End-Of-Line,BEOL)采用銅(Cu)互連和低介電常數(shù)(low-k)材料的必要性。
答案:
寄生電阻和寄生電容造成的延遲。電子在導電過程中會撞擊導體中的離子,將動量轉(zhuǎn)移給離子從而推動離子發(fā)生緩慢移動。該現(xiàn)象稱為電...
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答案:
在光柵掃描方法中,每一個像素必須被逐次掃描。這樣,曝光時間幾乎與圖形無關(guān),圖形就是通過打開和關(guān)閉快門寫出來的。而已經(jīng)開發(fā)...
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