問(wèn)答題

【論述題】個(gè)投影曝光系統(tǒng)采用ArF光源，數(shù)值孔徑為0.6，設(shè)k1=0.6，n=0.5，計(jì)算其理論分辨率和焦深。

答案：

分辨率：
焦深：
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，...
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