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問答題
【論述題】個投影曝光系統(tǒng)采用ArF光源，數(shù)值孔徑為0.6，設(shè)k1=0.6，n=0.5，計算其理論分辨率和焦深。
答案：
分辨率：
焦深：
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問答題
【論述題】根據(jù)曝光方式的不同，光學光刻機可以分成幾類？各有什么優(yōu)缺點？
答案：
根據(jù)曝光方式不同光學光刻機主要分為三種：接觸式，接近式，投影式。接觸式：接觸式光刻機是最簡單的光刻機，曝光時，掩模壓在涂...
