問(wèn)答題

【論述題】下圖為直流等離子放電的I-V曲線,請(qǐng)分別寫(xiě)出a-g各段的名稱(chēng)??捎米靼雽?dǎo)體制造工藝中離子轟擊的是其中哪一段?試解釋其工作原理。

答案: ab段為無(wú)光放電區(qū);bc段為湯生放電;c點(diǎn)為放電的著火點(diǎn),cd段為前期輝光放電;de段為正常輝光放電區(qū)ef段為反常輝光放...
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答案: 幾種典型的真空泵結(jié)構(gòu):①活塞式機(jī)械泵;②旋片式機(jī)械泵;③增壓器——羅茨泵;④油擴(kuò)散泵;⑤渦輪分子...
問(wèn)答題

【論述題】什么是擴(kuò)散效應(yīng)?什么是自摻雜效應(yīng)?這兩個(gè)效應(yīng)使得襯底/外延界面雜質(zhì)分布有怎樣的變化?

答案: 擴(kuò)散效應(yīng)是指襯底中的雜質(zhì)與外延層中的雜質(zhì),在外延生長(zhǎng)時(shí)互相擴(kuò)散,引起襯底與外延層界面附近雜質(zhì)濃度的緩慢變化。擴(kuò)散效應(yīng)對(duì)界...
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