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問(wèn)答題
【論述題】下圖為直流等離子放電的I-V曲線，請(qǐng)分別寫(xiě)出a-g各段的名稱(chēng)?？捎米靼雽?dǎo)體制造工藝中離子轟擊的是其中哪一段？試解釋其工作原理。
答案：
ab段為無(wú)光放電區(qū)；bc段為湯生放電；c點(diǎn)為放電的著火點(diǎn)，cd段為前期輝光放電；de段為正常輝光放電區(qū)ef段為反常輝光放...
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問(wèn)答題
【論述題】簡(jiǎn)述幾種典型真空泵的工作原理。
答案：
幾種典型的真空泵結(jié)構(gòu)：①活塞式機(jī)械泵；②旋片式機(jī)械泵；③增壓器——羅茨泵；④油擴(kuò)散泵；⑤渦輪分子...
問(wèn)答題
【論述題】什么是擴(kuò)散效應(yīng)？什么是自摻雜效應(yīng)？這兩個(gè)效應(yīng)使得襯底/外延界面雜質(zhì)分布有怎樣的變化？
答案：
擴(kuò)散效應(yīng)是指襯底中的雜質(zhì)與外延層中的雜質(zhì)，在外延生長(zhǎng)時(shí)互相擴(kuò)散，引起襯底與外延層界面附近雜質(zhì)濃度的緩慢變化。擴(kuò)散效應(yīng)對(duì)界...
