- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
問答題
【論述題】簡述幾種典型真空泵的工作原理。
答案：
幾種典型的真空泵結(jié)構(gòu)：①活塞式機(jī)械泵；②旋片式機(jī)械泵；③增壓器——羅茨泵；④油擴(kuò)散泵；⑤渦輪分子...
你可能感興趣的試題
問答題
【論述題】什么是擴(kuò)散效應(yīng)？什么是自摻雜效應(yīng)？這兩個(gè)效應(yīng)使得襯底/外延界面雜質(zhì)分布有怎樣的變化？
答案：
擴(kuò)散效應(yīng)是指襯底中的雜質(zhì)與外延層中的雜質(zhì)，在外延生長時(shí)互相擴(kuò)散，引起襯底與外延層界面附近雜質(zhì)濃度的緩慢變化。擴(kuò)散效應(yīng)對(duì)界...
問答題
【論述題】
下圖為硅外延生長速度對(duì)H2中SiCL4摩爾分量的函數(shù)曲線，試分析曲線走勢，并給出其變化的原因。
答案：
SiCL4濃度較小，SiCL4被氫還原析出硅原子的速度遠(yuǎn)小于被釋放出來的硅原...
