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【論述題】什么是擴散效應(yīng)?什么是自摻雜效應(yīng)?這兩個效應(yīng)使得襯底/外延界面雜質(zhì)分布有怎樣的變化?
答案:
擴散效應(yīng)是指襯底中的雜質(zhì)與外延層中的雜質(zhì),在外延生長時互相擴散,引起襯底與外延層界面附近雜質(zhì)濃度的緩慢變化。擴散效應(yīng)對界...
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問答題
【論述題】
下圖為硅外延生長速度對H
2
中SiCL
4
摩爾分量的函數(shù)曲線,試分析曲線走勢,并給出其變化的原因。
答案:
SiCL
4
濃度較小,SiCL
4
被氫還原析出硅原子的速度遠小于被釋放出來的硅原...
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問答題
【論述題】影響外延薄膜的生長速度的因素有哪些?
答案:
1)溫度高溫區(qū)B區(qū),生長速率對溫度的變化不敏感,生長速率由氣相質(zhì)量輸運控制,并且對反應(yīng)室的幾何形狀和氣流有很大的依賴性。...
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