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問答題
【論述題】影響外延薄膜的生長速度的因素有哪些？
答案：
1）溫度高溫區(qū)B區(qū)，生長速率對溫度的變化不敏感，生長速率由氣相質(zhì)量輸運(yùn)控制，并且對反應(yīng)室的幾何形狀和氣流有很大的依賴性。...
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問答題
【論述題】簡述外延薄膜的生長過程，其最顯著的特征是什么？
答案：
生長過程：①傳輸：反應(yīng)物從氣相經(jīng)邊界層轉(zhuǎn)移到Si表面；②吸附：反應(yīng)物吸附在Si表面；③化學(xué)反應(yīng)：在Si表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，...
問答題
【論述題】簡述APCVD、LPCVD、PECVD的特點(diǎn)。
答案：
APCVD——一些最早的CVD工藝是在大氣壓下進(jìn)行的，由于反應(yīng)速率快，CVD系統(tǒng)簡單，適于較厚的...
