問答題

【論述題】CVD淀積過程中兩個主要的限制步驟是什么?它們分別在什么情況下會支配整個淀積速率?

答案: CVD過程包括兩個部分:一、反應劑在邊界層中的輸運二、反應劑在襯底表面的化學反應存在兩種極限情況:①hg>>ks,Cs趨...
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問答題

【論述題】

下圖是硅烷反應淀積多晶硅的過程,寫出發(fā)生反應的方程式,并簡述其中1~5各步的含義。

答案: (1)反應氣體從腔體入口向晶圓片附近輸運;
(2)這些氣體反應生成系列次生分子;
(3)這些反應物輸...
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