首頁
題庫
網(wǎng)課
在線???/a>
桌面端
登錄
搜標題
搜題干
搜選項
0
/ 200字
搜索
問答題
【論述題】CVD淀積過程中兩個主要的限制步驟是什么?它們分別在什么情況下會支配整個淀積速率?
答案:
CVD過程包括兩個部分:一、反應劑在邊界層中的輸運二、反應劑在襯底表面的化學反應存在兩種極限情況:①hg>>ks,Cs趨...
點擊查看完整答案
在線練習
手機看題
你可能感興趣的試題
問答題
【論述題】對于某種薄膜的CVD過程,淀積溫度為900℃,質(zhì)量傳輸系數(shù)hG=10cms-1,表面反應速率系數(shù)ks=1×107exp(-1.9eV/kT)cms-1。現(xiàn)有以下兩種淀積系統(tǒng)可供選擇(1)冷壁,石墨支座型;(2)熱壁,堆放硅片型。應該選用哪種類型的淀積系統(tǒng)并簡述理由。
答案:
反應室類型熱壁:反應室腔壁與硅片及支撐件同時加熱。一般為電阻絲加熱,可精確控制反應腔溫度和均勻性。適合對溫度控制要求苛刻...
點擊查看完整答案
手機看題
問答題
【論述題】
下圖是硅烷反應淀積多晶硅的過程,寫出發(fā)生反應的方程式,并簡述其中1~5各步的含義。
答案:
(1)反應氣體從腔體入口向晶圓片附近輸運;
(2)這些氣體反應生成系列次生分子;
(3)這些反應物輸...
點擊查看完整答案
手機看題
微信掃碼免費搜題