問(wèn)答題

【論述題】

下圖是硅烷反應(yīng)淀積多晶硅的過(guò)程，寫(xiě)出發(fā)生反應(yīng)的方程式，并簡(jiǎn)述其中1～5各步的含義。

答案： （1）反應(yīng)氣體從腔體入口向晶圓片附近輸運(yùn)；
（2）這些氣體反應(yīng)生成系列次生分子；
（3）這些反應(yīng)物輸...
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