下圖為一個(gè)典型的離子注入系統(tǒng)。(1)給出1~6數(shù)字標(biāo)識(shí)部分的名稱,簡述其作用。(2)闡述部件2的工作原理。
Si-SiO2界面電荷有哪幾種?簡述其來源及處理辦法。