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填空題
離子注入是借其()強(qiáng)行進(jìn)入靶材料中的一個()物理過程。
答案:
動能;非平衡
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填空題
外延生長方法比較多,其中主要的有()外延、()外延、金屬有機(jī)化學(xué)氣相外延、分子束外延、()、固相外延等。
答案:
化學(xué)氣相;液相;原子束外延
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填空題
拋光片的質(zhì)量檢測項(xiàng)目包括:幾何參數(shù),直徑、()、主參考面、副參考面、平整度、彎曲度等;(),電阻率,載流子濃度,遷移率等;晶體質(zhì)量,晶向,位錯密度。
答案:
厚度;電學(xué)參數(shù)
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