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填空題
外延生長方法比較多,其中主要的有()外延、()外延、金屬有機化學氣相外延、分子束外延、()、固相外延等。
答案:
化學氣相;液相;原子束外延
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填空題
拋光片的質(zhì)量檢測項目包括:幾何參數(shù),直徑、()、主參考面、副參考面、平整度、彎曲度等;(),電阻率,載流子濃度,遷移率等;晶體質(zhì)量,晶向,位錯密度。
答案:
厚度;電學參數(shù)
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填空題
半導體材料的主要晶體結(jié)構有()型、閃鋅礦型、()型。
答案:
金剛石;纖鋅礦
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