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【簡(jiǎn)答題】什么是結(jié)深?
答案:
硅片中p型雜質(zhì)和n型雜質(zhì)相遇的深度被稱(chēng)為結(jié)深。
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【簡(jiǎn)答題】敘述氮化硅的濕法化學(xué)去除工藝。
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去除氮化硅使用熱磷酸進(jìn)行濕法化學(xué)剝離掉的。這種酸槽一般始終維持在160°C左右并對(duì)露出的氧化硅具有所希望的高選擇...
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【簡(jiǎn)答題】哪種化學(xué)氣體經(jīng)常用來(lái)刻蝕多晶硅?描述刻蝕多晶硅的三個(gè)步驟。
答案:
多晶硅等離子刻蝕用的化學(xué)氣體通常是氯氣、溴氣或二者混合氣體??涛g多晶硅的三步工藝:
1.預(yù)刻蝕,用于去除自然氧...
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