問答題

【簡答題】外延技術分為哪些？

答案：

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名詞解釋

外延技術
答案： 外延是指在單晶襯底上生長出位向相同的同類單晶體（同質外延），或者生長出具有共格或半共格聯(lián)系的異類單晶體（異質外延）的技術...
問答題

【簡答題】簡述蒸鍍與濺射的區(qū)別
答案：

蒸鍍：讓材料加熱氣化（發(fā)射出粒子），再沉積到基片上成膜。
濺射：用離子轟擊，將靶材原子打出來，再沉積到基片上成膜。
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