蒸鍍:讓材料加熱氣化(發(fā)射出粒子),再沉積到基片上成膜。 濺射:用離子轟擊,將靶材原子打出來,再沉積到基片上成膜。
(1)輝光放電直流濺射 (2)射頻濺射 (3)磁控濺射
最新試題
關(guān)于溶膠凝膠法,下面哪些說法是正確的?()
按照坯料的性能可將成形方法分為哪幾類?()
不同金屬由于結(jié)構(gòu)不同,其能量表面能最低晶面也不相同,Pd,Pt為面心立方結(jié)構(gòu),其最小奇異面是()
固相燒結(jié)的驅(qū)動(dòng)力主要來源于坯料的()
提拉法生長單晶體的優(yōu)點(diǎn)有()