問答題

【簡答題】簡述蒸鍍與濺射的區(qū)別

答案：

蒸鍍：讓材料加熱氣化（發(fā)射出粒子），再沉積到基片上成膜。
濺射：用離子轟擊，將靶材原子打出來，再沉積到基片上成膜。

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答案：

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（2）射頻濺射
（3）磁控濺射

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（3）...