A.溶膠凝膠法制膜反應(yīng)溫度低,均勻性好,化學(xué)組分可以精確控制,設(shè)備簡單,成本低,制備的薄膜致密性好,適合工業(yè)生產(chǎn)。B.溶膠是指有膠體顆粒分散懸浮于其中的液體。C.凝膠是指內(nèi)部成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),網(wǎng)絡(luò)間隙中含有液體的固體。D.溶膠凝膠法適合制備大面積薄膜。
A.細(xì)顆粒有利于液相燒結(jié)B.燒結(jié)過程中產(chǎn)生的大量液相有利于燒結(jié)進(jìn)行C.提高溫度對致密化有利D.固液相間的接觸角愈小,對燒結(jié)愈有利
A.沉積溫度B.反應(yīng)氣體的比例C.基體材料D.壓強(qiáng)