填空題濕法腐蝕Si所用溶液有()、()等,腐蝕SiO2常用的腐蝕劑是(),腐蝕Si3N4常用的腐蝕劑是()。
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最新試題
利用2μm×6μm的多晶硅柵極覆蓋在4μm×12μm薄氧化層的正中間構成一個MOS管,已知Cox=5×10-4pF/μm2,估算柵極電容。
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