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集成電路制作工藝大體上可以分成三類,包括()、()、()。
答案:
圖形轉化技術;薄膜制備技術;摻雜技術
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填空題
制作電阻分壓器共需要三次光刻,分別是()、()和()。
答案:
電阻薄膜層光刻;高層絕緣層光刻;互連金屬層光刻
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【簡答題】解釋質(zhì)量輸運限制CVD工藝和反應速度限制CVD工藝的區(qū)別,哪種工藝依賴于溫度,LPCVD和APCVD各屬于哪種類型?
答案:
質(zhì)量傳輸限制淀積速率:淀積速率受反應物傳輸速度限制,即不能提供足夠的反應物到襯底表面,速率對溫度不敏感(如高壓CVD.。...
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