問答題

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答案： ①定義：在單晶襯底上新生一層單晶膜的技術(shù)。
以氣相外延為例，則是含外延層材料的物質(zhì)以氣相形式流向襯底，在高溫下...
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【簡答題】增層工藝主要包括哪些方式？
答案： 實(shí)現(xiàn)方式分：生長法（氧化工藝、氮化硅工藝）和淀積法（CVD、蒸發(fā)工藝、濺射工藝）
問答題

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答案：

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