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【簡答題】什么叫做外延?外延有哪些特點(diǎn)?
答案:
①定義:在單晶襯底上新生一層單晶膜的技術(shù)。
以氣相外延為例,則是含外延層材料的物質(zhì)以氣相形式流向襯底,在高溫下...
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實(shí)現(xiàn)方式分:生長法(氧化工藝、氮化硅工藝)和淀積法(CVD、蒸發(fā)工藝、濺射工藝)
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【簡答題】列出最基本的4種工藝方法
答案:
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