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【簡答題】解釋離子束擴展和空間電荷中和。
答案:
由于電荷之間的相互排斥,所以一束僅包括正電荷的離子束本身是不穩(wěn)定的,容易造成離子束的膨脹即離子束的直徑在行進過程中不斷的...
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問答題
【簡答題】離子源的目的是什么?最常用的離子源是什么?
答案:
目的:使待注入的物質以帶電粒子束的形式存在
最常用的源:Freeman離子源和Bernas離子源
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【簡答題】例舉離子注入設備的5個主要子系統(tǒng)。
答案:
(1)離子源:待注入物質必須以帶電粒子束或離子束的形式存在。注入離子在離子源中產生
(2)引出電極(吸極)和離子...
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