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【簡答題】離子源的目的是什么?最常用的離子源是什么?
答案:
目的:使待注入的物質(zhì)以帶電粒子束的形式存在
最常用的源:Freeman離子源和Bernas離子源
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問答題
【簡答題】例舉離子注入設(shè)備的5個(gè)主要子系統(tǒng)。
答案:
(1)離子源:待注入物質(zhì)必須以帶電粒子束或離子束的形式存在。注入離子在離子源中產(chǎn)生
(2)引出電極(吸極)和離子...
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問答題
【簡答題】例舉離子注入工藝和擴(kuò)散工藝相比的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。
答案:
離子注入的優(yōu)點(diǎn):
(1)精確控制雜質(zhì)含量和分布
(2)很好的雜質(zhì)均勻性
(3)對雜質(zhì)穿透深...
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