問答題

【簡答題】離子源的目的是什么?最常用的離子源是什么?

答案:

目的:使待注入的物質(zhì)以帶電粒子束的形式存在
最常用的源:Freeman離子源和Bernas離子源

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問答題

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(2)很好的雜質(zhì)均勻性
(3)對雜質(zhì)穿透深...
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