摻雜后，退火的目的是（）。

鳥(niǎo)嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個(gè)參數(shù)無(wú)關(guān)？（）

刻蝕工藝可以和以下哪個(gè)工藝結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

刻蝕過(guò)程中聚合物形成的來(lái)源有（）。

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

光刻工藝對(duì)準(zhǔn)誤差包括（）。

下面哪道工序主要是針對(duì)晶圓切割之后在顯微鏡下進(jìn)行晶圓r的外觀檢查，是否有出現(xiàn)廢品？（）

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項(xiàng)？（）

金屬化中可選用的金屬材料有（）。