問答題

【簡答題】例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。

答案： 汞燈，高壓汞燈，電流通過裝有氙汞氣體的管子產(chǎn)生電弧放電，這個電弧發(fā)射出一個特征光譜，包括240納米到500納米之間有用的...
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問答題

【簡答題】描述曝光波長和圖像分辨率之間的關(guān)系。
答案： 減少曝光光源的波長對提高分辨率非常重要，波長的越小，圖像的分辨率就越高，圖像就越精確。
問答題

【簡答題】例舉并描出旋轉(zhuǎn)涂膠的4個基本步驟。
答案： 1.分滴，當(dāng)硅片靜止或者旋轉(zhuǎn)得非常緩慢時，光刻膠被分滴在硅片上
2.旋轉(zhuǎn)鋪開，快速加速硅片的旋轉(zhuǎn)到一高的轉(zhuǎn)速使...
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