問答題

【簡(jiǎn)答題】描述曝光波長(zhǎng)和圖像分辨率之間的關(guān)系。

答案：減少曝光光源的波長(zhǎng)對(duì)提高分辨率非常重要，波長(zhǎng)的越小，圖像的分辨率就越高，圖像就越精確。

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【簡(jiǎn)答題】例舉并描出旋轉(zhuǎn)涂膠的4個(gè)基本步驟。

答案： 1.分滴，當(dāng)硅片靜止或者旋轉(zhuǎn)得非常緩慢時(shí)，光刻膠被分滴在硅片上
2.旋轉(zhuǎn)鋪開，快速加速硅片的旋轉(zhuǎn)到一高的轉(zhuǎn)速使...

【簡(jiǎn)答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么？

答案：

一、將掩膜版圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中
二、在后續(xù)工藝中，保護(hù)下面的材料