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【簡答題】例舉離子注入工藝和擴散工藝相比的優(yōu)點和缺點。
答案:
離子注入的優(yōu)點:
(1)精確控制雜質含量和分布
(2)很好的雜質均勻性
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【簡答題】什么是結深?
答案:
硅片中p型雜質和n型雜質相遇的深度被稱為結深。
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