多項(xiàng)選擇題

?集成電路制造技術(shù)中，薄膜制備技術(shù)主要包括兩大類(lèi)（）。

A.薄膜生長(zhǎng)技術(shù)
B.薄膜淀積技術(shù)
C.薄膜外延技術(shù)
D.薄膜堆疊技術(shù)

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