A.濺射工藝重復性好B.濺射角度大C.濺射工藝復雜D.濺射原子遷移能力強
A.生長機理簡單B.工藝重復性C.臺階覆蓋能力差D.薄膜與襯底附著力小
A.蒸發(fā)溫度高B.工藝設備簡單C.熱效率高D.高純度淀積