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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】PECVD的機(jī)理？PECVD有何優(yōu)勢(shì)？
答案：
機(jī)理：等離子體由中性原子團(tuán)、游離基、分子、離子、少量高能電子組成。
優(yōu)勢(shì)：可以較低溫度下淀積薄膜，常是低溫與低壓結(jié)合
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②根據(jù)反應(yīng)室壁冷熱分：熱壁和冷壁
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