多項(xiàng)選擇題

關(guān)于離子注入?yún)^(qū)形成非晶層的臨界劑量，下面哪幾種說(shuō)法正確（）

A.靶溫升高，臨界劑量上升
B.注入離子越輕，臨界劑量越小
C.注入離子劑量率增大，臨界劑量降低
D.注入離子能量越高，臨界劑量越低

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