問答題

【簡答題】亞微米CMOS IC制造廠可分為哪六種獨立的生產區(qū)?

答案:

A.擴散(包括氧化、膜淀積和摻雜工藝)
B.光刻
C.刻蝕
D.薄膜
E.離子注入
F.拋光

題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】簡述IC制造中一般采用的三種外延方法

答案: 1、氣相外延(VPE):常用的硅外延方法,屬于CVD范疇
2、金屬有機CVD(MOCVD):用來淀積化合物半導...
問答題

【簡答題】簡述HPCVD工藝的五個步驟

答案: (1)離子誘導淀積:指離子被托出等離子體并淀積形成間隙填充的現(xiàn)象
(2)濺射刻蝕:具有一定能量的Ar和因為硅片...
微信掃碼免費搜題