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【簡答題】亞微米CMOS IC制造廠可分為哪六種獨立的生產區(qū)?
答案:
A.擴散(包括氧化、膜淀積和摻雜工藝)
B.光刻
C.刻蝕
D.薄膜
E.離子注入
F.拋光
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答案:
1、氣相外延(VPE):常用的硅外延方法,屬于CVD范疇
2、金屬有機CVD(MOCVD):用來淀積化合物半導...
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答案:
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(2)濺射刻蝕:具有一定能量的Ar和因為硅片...
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