多項選擇題

CVD基本過程包括（）。

A.在表面進行化學反應，在表面淀積成薄膜
B.副產(chǎn)物脫離吸附
C.脫吸副產(chǎn)物逸出反應室
D.反應劑傳輸至襯底表面，反應劑吸附在表面

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