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蒸發(fā)最大的缺點是不能產(chǎn)生均勻的臺階覆蓋,但是可以比較容易的調(diào)整淀積合金的組分
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LPCVD緊隨PECVD的發(fā)展而發(fā)展。由660℃降為450℃,采用增強的等離子體,增加淀積能量,即低壓和低溫。
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在一個化學(xué)氣相淀積工藝中,如果淀積速率是反應(yīng)速率控制的,則為了顯著增大淀積速率,應(yīng)該增大反應(yīng)氣體流量。
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