問答題

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答案: ①器件保護(hù)(避免劃傷和污染),因sio2致密;
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【簡答題】STI隔離技術(shù)中,為什么采用干法離子刻蝕形成槽?

答案: 采用干法刻蝕,是為了保證深寬比。
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