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問答題
【簡(jiǎn)答題】描述金屬?gòu)?fù)合層中用到的材料？
答案：
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問答題
【簡(jiǎn)答題】為什么晶體管柵結(jié)構(gòu)的形成是非常關(guān)鍵的工藝？更小的柵長(zhǎng)會(huì)引發(fā)什么問題？
答案：
因?yàn)樗俗畋〉臇叛趸瘜拥臒嵘L(zhǎng)以及多晶硅柵的刻印和刻蝕，而后者是整個(gè)集成電路工藝中物理尺度最小的結(jié)構(gòu)。多晶硅柵的寬度...
問答題
【簡(jiǎn)答題】為什么要采用LDD工藝？它是如何減小溝道漏電流的？
答案：
溝道長(zhǎng)度的縮短增加了源漏穿通的可能性，將引起不需要的漏電流，所以需要采用LDD工藝。
輕摻雜漏注入使砷和BF<...
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