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問答題

【簡答題】影響氧化速度的因素有哪些？

答案：摻雜物、晶體晶向、壓力、溫度、水蒸氣。

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答案： ①干氧：Si＋O₂ SiO₂
氧化速度慢，氧化層干燥、致...

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答案：化學(xué)反應(yīng)：Si+2H₂O->SiO₂+2H₂

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