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壓電掃描器利用壓電效應產(chǎn)生擺動的掃描器,具有無摩擦、無磨損、無間隙和高諧振頻率的特點。
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飛點掃描法是利用一個線光源照明待檢測表面,并利用單個探測器和多面體進行光信號接收。
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空間調(diào)制光束的產(chǎn)生光路中設置了相互垂直的光闌。
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