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問答題
【簡答題】名詞解釋：CVD、LPCVD、PECVD、VPE、BPSG。（將這些名詞翻譯成中文并做出解釋）。
答案：
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問答題
【簡答題】描述CVD反應中的8個步驟。
答案：
1）質(zhì)量傳輸
2）薄膜先驅(qū)物反應
3）氣體分子擴散
4）先驅(qū)物吸附
5）先驅(qū)物擴散進襯底
6）表面反應
7）副產(chǎn)物解吸
8）副產(chǎn)物去除
