問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】描述CVD反應(yīng)中的8個(gè)步驟。

答案：

1）質(zhì)量傳輸
2）薄膜先驅(qū)物反應(yīng)
3）氣體分子擴(kuò)散
4）先驅(qū)物吸附
5）先驅(qū)物擴(kuò)散進(jìn)襯底
6）表面反應(yīng)
7）副產(chǎn)物解吸
8）副產(chǎn)物去除
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