問答題

答案： ①點(diǎn)缺陷：晶體雜志原子擠壓晶體結(jié)構(gòu)引起的壓力所致
②位錯(cuò)：晶體生長(zhǎng)條件、晶體內(nèi)的晶格應(yīng)力、制造過程中的物理損壞...

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答案：

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②高精度：光刻圖形的最小線條尺寸在亞微米量級(jí)，制備的介質(zhì)薄膜厚度也在納米量級(jí)...