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問答題

【簡答題】簡述微電子工藝的特點

答案： ①高技術(shù)含量：設(shè)備先進、技術(shù)先進
②高精度：光刻圖形的最小線條尺寸在亞微米量級，制備的介質(zhì)薄膜厚度也在納米量級...

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答案：

①材料準備
②晶體生長與晶圓準備
③芯片制造
④封裝

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