下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

伺服工作時(shí)，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。