UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。