多項選擇題ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

A.12.5Mhz
B.30Mhz
C.13.56Mhz
D.27.12Mhz


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你可能感興趣的試題

1.多項選擇題檢漏儀里標準漏孔的作用是（）。

A.靈敏度校正
B.檢漏儀性能確認
C.壓力確認
D.漏率檢測

2.多項選擇題RF 電源適用的設備是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning

3.多項選擇題RF電源故障解析：同一個腔體內若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢

4.多項選擇題下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源

5.多項選擇題下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列