分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時(shí)，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動(dòng)指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實(shí)現(xiàn)。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

對(duì)于一些復(fù)雜的焊接任務(wù)，必須依靠焊接機(jī)器人與輔助設(shè)備作業(yè)過程中同步協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)，這需要用到（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？