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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】寫出計(jì)算焦深的公試。
答案：
DOF=入/（2*NA）2
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【簡(jiǎn)答題】計(jì)算掃描光刻機(jī)的分辨率，假設(shè)波長(zhǎng)是248nm， NA=0.65， K是0.6。
答案：
0.6*248/0.65=228.9 R=K*入/NA
