問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】計(jì)算掃描光刻機(jī)的分辨率，假設(shè)波長(zhǎng)是248nm， NA=0.65，  K是0.6。

答案： 0.6*248/0.65=228.9   R=K*入/NA
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